真空鍍膜設(shè)備——真空計
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真空鍍膜設(shè)備——真空計
真空計:真空計是真空鍍膜設(shè)備上的重要組成部分,它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。真空計根據(jù)其工作原理可以分為**真空計和相對真空計,**真空計可以直接測量壓強的高低,相對真空計只能間接測量真空度。
本文重點介紹鍍膜機器上面常用到的以下幾個真空計:
點阻真空計(又叫皮喇尼真空計):它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成,主要是根據(jù)在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統(tǒng)相連接,熱絲采用電阻溫度系數(shù)大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。當(dāng)壓強降低的時候,由于氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量減小,因此當(dāng)熱磁加熱電流穩(wěn)定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強,有以下關(guān)系:這就是電阻真空計的工作原理,此真空計的測量范圍是:100-10-1帕之間,目前采用的型號是磁控放電真空計:工作原理:在放電開始時,由于空間游離電子向陽極運動時,在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定**次就碰上陽極,而是穿過陽極,然后收到對面陰極的拒斥,又復(fù)返回。這樣反復(fù)多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長,故碰撞及電離的分子數(shù)增加,使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY放電管真空計:在玻璃管中封入兩個金屬電極,在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓,在一定的壓強范圍內(nèi)(1*10*3~2*10托)內(nèi)就能引起自持放電,通過放電顏色來判定其真空度。目前為止,此種真空計已經(jīng)很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且壽命不長。
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此信息來自-深圳市金華杰電子有限公司-作者:carefree.net.cn深圳市金華杰電子有限公司集二十年豐富的研發(fā)、設(shè)計及生產(chǎn)經(jīng)驗,公司擁有一批專業(yè)從事生產(chǎn)、銷售及維修的技術(shù)人員,可全方位多途徑為國內(nèi)外光學(xué)鍍膜行業(yè),光盤行業(yè),光磁存儲行業(yè),半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè),平板及光電顯示器行業(yè),分析儀器及科研行業(yè),真空工業(yè)應(yīng)用等行業(yè)提供上等服務(wù)。
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